Luftstromsensoren AWM-Serie
Integriert in diesen Luftstromsensoren ist eine Dünnfilm-, thermoisolierte Brückenstruktur mit Heiz- und Temperatur-Sensorelementen. Durch diese technische Lösung wird eine hohe Meßempfindlichkeit und Ansprechzeit sowohl auf Luft – als auch andere Gasströmungen über den Chip erreicht. Die bewährte Chip Design- und Herstellungstechnik machen die Mikrobrücke nicht nur außerordentlich messempfindlich sondern auch schnell und klein. Die Luftstromsensoren der Serie AWM sind nicht für Flüssigkeiten konzipiert, dies würde unweigerlich zur Beschädigung des Sensorchips führen.
Im Folgenden werden kurz die einzelnen AWM-Serien vorgestellt, es besteht jederzeit die Möglichkeit hier weitere, ausführlichere Informationen über Roßmann zu beziehen. Viele Typen sind sofort ab Lager verfügbar.
Luftstromsensoren Zephyr Serie
Diese neuen Sensoren besitzen eine digitale oder analoge Schnittstelle für die Massenstrommessung von Luft und anderen trockenen Gasen über den gesamten Mess- und Temperaturbereich hinweg. Die thermische Trennung von Heizung und Temperatursensorelementen sorgt für ein schnelles Ansprechen bei Änderung der Luft- und Gasströme. Die Zephyr Serie HAF arbeitet von +/- 50 sccm bis +/- 750 sccm.
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| Serie | Honeywell Zepjyr / HAF Series-High Accuracy +/- 50 SCCM to +/- 750 SCCM | Honeywell Zepjyr / HAF Series-High Accuracy 10 SLPM to 300 SLPM | AWM700 | AWM1000 | AWM2000 | AWM3000 | AWM4000 | AWM5000 | AWM9000 |
| Signal conditioning | amplified, compensated | amplified, compensated | amplified | unamplified (mV); compensated | unamplified (mV); compensated | amplified | amplified or unamplified (but compensated) | amplified | uncompensated |
| Technology | silicon die with thermally isolated heater | silicon die with thermally isolated heater | silicon die | silicon die | silicon die | silicon die | silicon die | silicon die | silicon die |
| Flow / press. Range | +/- 50 SCCM to +/- 750 SCCM | 10,15, 20, 50, 100, 200, 300 SLPM | 200 SLPM | + 200 SCCM; + 1000 sccm to 600 SCCM; +/- 5mbar [2,0 in H2O] | +/- 30 SCCM; +/- 200 SCCM; +/- 1000 sccm; 5mbar [2,0 in H2O], | 30 SCCM; 200 SCCM; 1000 sccm; 0-1,25mbar; 0-5mbar; | 25 SCCM; 1 SLPM; 6 SLPM | 0 to 5 SLPM; 0 to 19 SLPM; 0 to 15 SLPM; 0 to 20 SLPM | +/- 200 SCCM; +/-5mbar |
| Output | analog (Vdc); digital ( I2C) | digital ( I2C) | analog | analog | analog | analog | analog | analog | analog |
| Power consumption | 3,3Vdc: 40mW typ. (no load) (analog); 23mW typ (no load) (digital); 5Vdc: 55mW typ. (no load) (analog); 38mW typ (no load) (digital) | 3Vdc: 60mW typ. 10Vdc: 200mW typ. | 60mW typ. | 30mW typ. | 30mW typ. | 50mW or 100mW | 60mW or max 75mW | 100mW | 50mW |
| Port style | long or short port | mainfold mount, 22mm OD tapered male fitting, G3/8 female threaded fitting | 22 mm tapered | straight | straight | straight | manifold | 1/4 in – 18 NPT | parallel |
| Media compat. | dry non-corrosive gases | dry non-corrosive gases | dry gas only | dry gas only | dry gas only | dry gas only | dry gas only | dry gas only | dry gas only |
| Temperature range | -20°C to 70°C [ -4°F to 158°F] operating; 0°C to 50°C [32°F to 122°F] compensated | -20°C to 70°C [ -4°F to 158°F] operating; 0°C to 50°C [32°F to 122°F] compensated | -25°C to 85°C [ -13°F to 185°F] operating; 10°C to 40°C [50°F to 104°F] compensated | -25°C to 85°C [ -13°F to 185°F] | -25°C to 85°C [ -13°F to 185°F] | -25°C to 85°C [ -13°F to 185°F] | -40°C to 125°C [ -40°F to 251°F] operating; -25°C to 85°C [ -13°F to 185°F] | -20°C to 70°C [ -4°F to 158°F] operating; 0°C to 50°C [32°F to 122°F] compensated | -25°C to 85°C [ -13°F to 185°F] |
| Measurements: (H x W x D ) mm | long port: 200mm x 36mm x 19,9mm; short port: 17,6mm x 28,8mm x 19,9mm | 110mm x 54,4mm x 54mm; ( 22mm OD, tapered male fitting – largest ) | 33,8mm x 22,9mm x 37,0 mm | 12,7mm x 54,4mm x 31,5mm | 12,7mm x 54,4mm x 31,5mm | 12,7mm x 54,4mm x 31,5mm | 12,7mm x 30,5mm x 30,2mm | 35,6mm x 3162,8mm x 32,3mm | 13,08mm x 30,48mm x 27,94mm |
| Features | high accuracy; high sensitivity at very low flows; high stability; low pressure; lienar output; customizable; full calibration and temperature compensation | built-in bypass provides high performance, easy intergration and custom calibration | sensitiv to low flows, enhanced respone time; low power consuption; analog output; highly stable | sensitiv to low flows, enhanced respone time; low power consuption; analog output; bidirectional sensing capability | sensitiv to low flows, enhanced respone time; low power consuption; analog output; bidirectional sensing capability | sensitiv to low flows, fast respone time; low power consuption; analog output; amplified | sensitiv to low flows, enhanced respone time; low power consuption; analog output; laser trimmed | sensitiv to low flows, enhanced respone time; low power consuption; analog output; laser trimmed | sensitiv to low flows, fast respone time; low power consuption; analog output; bidirectional sensing capability |
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